力検出素子、力検出モジュール、力検出ユニットおよびロボット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-117252
公開番号（公開出願番号）：特開2013-245937
出願日： 2012年05月23日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：

【課題】小型化を可能とする力検出素子、力検出モジュール、力検出ユニットおよびこれらを備えたロボットを提供する。【解決手段】水晶基板6と、水晶基板6の一方の表面に形成された第1電極11、および他方の表面に形成された第2電極12を有し外力が加わる力検出部10と、力検出部10から水晶基板6が延在され、延在された水晶基板6上に第1電極11または第2電極12に接続される回路部21と、水晶基板6の力検出部10と回路部21との間に、力検出部10が形成された水晶基板6の剛性とは異なる剛性に調整される溝部27aと、を備え、回路部21には、ゲート電極を有する半導体素子が設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電基板と、前記圧電基板の一方の表面に形成された第1電極、および他方の表面に形成された第2電極を有し外力が加わる力検出部と、前記力検出部から前記圧電基板が延在され、延在された前記圧電基板上に前記第1電極または前記第2電極に接続される半導体素子が設けられた回路部と、前記圧電基板の前記力検出部と前記回路部との間に、前記力検出部が形成された前記圧電基板の剛性とは異なる剛性に調整された剛性調整部と、を備えたことを特徴とする力検出素子。

IPC (3件)：

G01L 1/16 , G01L 5/16 , B25J 19/02

FI (3件)：

G01L1/16 B , G01L5/16 , B25J19/02

Fターム (13件)：

2F051AA10 , 2F051AB08 , 2F051BA07 , 2F051DA03 , 2F051DB03 , 3C707BS10 , 3C707CS08 , 3C707CY36 , 3C707JS05 , 3C707KS33 , 3C707KV06 , 3C707WA03 , 3C707WA16

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第3668312号
特許第4935945号
特許第4863097号

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