特許

J-GLOBAL ID：201303051966867452

被膜を備えた樹脂物品の製造方法および成膜用マスク

発明者： 吉田 誠 ,  新野 史 ,  柏木 章 ,  山口 大策
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 山王坂特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062171
公開番号（公開出願番号）：特開2013-194275
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：

【課題】樹脂部材からのアウトガスによる被膜の酸化を防止しながら、成膜を行う技術を提供する。【解決手段】成膜すべき領域に開口11を有するマスク10で樹脂部材1を覆い、開口11から露出された樹脂部材1に真空成膜法により被膜の成膜を行う。マスク10として、マスク10の裏面の一部の領域には、樹脂部材1表面との間に空間を形成するため凹部12が形成され、凹部12は、開口とは異なる位置で外部空間と連通している。これにより、樹脂部材1の開口11以外の領域からのアウトガスを外部空間に放出できるため、開口11における成膜の妨げとならない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成膜すべき領域に開口を有するマスクで樹脂部材を覆い、前記開口から露出された前記樹脂部材に真空成膜法により被膜の成膜を行う、被膜を備えた樹脂物品の製造方法であって、 前記マスクの裏面の一部の領域には、前記樹脂部材表面との間に空間を形成するため凹部が形成され、前記凹部は、前記開口とは異なる位置で外部空間と連通していることを特徴とする被膜を備えた樹脂物品の製造方法。

IPC (1件)：

C23C 14/04

FI (1件)：

C23C14/04 A

Fターム (7件)：

4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029HA03