特許

J-GLOBAL ID：201303051989519176

相互接続構造を含む能動画素センサ

発明者： ジェレミー・エー・シール ,  ミン・カオ ,  ディートリッチ・ダブリュー・ヴォック ,  フレデリック・エー・パーナー ,  シン・スン ,  シャウミン・マ ,  ゲイリー・ダブリュー・レイ
出願人/特許権者： マイクロン テクノロジー, インク.
代理人 (3件)： 野村 泰久 ,  大菅 義之 ,  後藤 政喜
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276173
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133792
特許番号：特許第4788932号
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、 前記基板に隣接する相互接続構造体であって、前記基板に電気的に接続された少なくとも第1及び第2の導電性ビアを含む、相互接続構造体と、 前記相互接続構造体に隣接する少なくとも1つの光学センサであって、該光学センサのそれぞれが個々の画素電極と個々の内側部分とを含み、該個々の内側部分は、前記画素電極と前記相互接続構造体との間に形成され、かつ、前記画素電極と前記第1の導電性ビアとを電気的に接続し、また、前記画素電極及び前記内側部分は、高濃度にドープされた半導体層から形成され、かつ、前記内側部分は前記画素電極の抵抗よりも低い抵抗を有する、少なくとも1つの光学センサと、 前記画素電極の上に形成されるI層と、 前記I層の上に形成される透明電極であって、該透明電極の内側面が前記I層及び前記第2の導電性ビアに電気的に接続される、透明電極と、 を備える能動画素センサ。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ( 200 6.01) ,  H04N 5/369 ( 201 1.01)

FI (2件)：

H01L 27/14 E ,  H04N 5/335 690

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 固体撮像装置及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245308   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-261071
  
• 特開平2-128468
  
• 特開昭61-296762
  

審査官引用 (6件)

• 特開平2-128468
  
• 特開平2-128468
  
• 特開平4-261071
  
• 特開平4-261071
  
• 固体撮像装置及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245308   出願人：株式会社東芝
• 特開昭61-296762