特許
J-GLOBAL ID：201303052686334021
水晶デバイスへの印字方法、水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船津 暢宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002749
公開番号（公開出願番号）：特開2013-085211
出願日： 2012年01月11日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：
【課題】 ニッケルやニッケルとタングステンの合金を用いて、レーザー印字した文字を見や易くできる水晶デバイスへの印字方法、水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】 水晶基板1上にニッケル(Ni)又はニッケルとタングステン(W)の合金(Ni/W)又はクロム(Cr)等の金属膜2を成膜し、当該金属膜2を加熱して焼成し、金属膜2を酸化させることで金属膜2の色を茶又は焦げ茶にし、その金属膜2を水晶基板1の下地が露出するまでレーザーで削り取るようにした水晶デバイスへの印字方法、水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
水晶デバイスへの印字方法であって、
リッドウエハの一方の主面上に酸化して変色する金属膜を成膜し、
前記リッドウエハの他方又は前記一方の主面上に接着層を形成し、
焼成して前記金属膜を酸化させ、
レーザーにて前記酸化させた金属膜を削り取って印字することを特徴とする水晶デバイスへの印字方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H03H9/02 H
, H03H3/02 C
, H03H9/02 L
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG08
, 5J108GG14
, 5J108KK04
, 5J108MM01
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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