特許
J-GLOBAL ID：201303052712560817
走査型検出測定装置、及び測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-120187
公開番号（公開出願番号）：特開2013-011592
出願日： 2012年05月25日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を射出する発光素子と、
前記発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、
前記標本から生じる光を検出する検出光学系と、
前記発光素子と前記走査光学系との間に設けられ前記レーザ光の一部を前記発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、
を有することを特徴とする走査型検出測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/06
, G01N 21/27
, G01C 3/06
G01B11/24 A
, G01B11/06 Z
, G01N21/27 A
, G01C3/06 120P
2F065AA24
, 2F065AA30
, 2F065AA53
, 2F065BB22
, 2F065DD03
, 2F065DD04
, 2F065EE04
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065GG06
, 2F065GG22
, 2F065GG23
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065HH04
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL10
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM16
, 2F065PP24
, 2F112AB05
, 2F112BA07
, 2F112CA08
, 2F112CA12
, 2F112DA02
, 2F112DA05
, 2F112DA09
, 2F112DA13
, 2F112DA15
, 2F112DA17
, 2F112DA21
, 2F112DA25
, 2F112DA32
, 2G059AA05
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ15
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059KK02
, 2G059KK04
