時間積分出力した熱伝導型センサ、及びこれを用いた水素ガスセンサと絶対湿度センサおよび熱伝導型センサチップ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-104289
公開番号（公開出願番号）：特開2013-228346
出願日： 2012年04月30日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】真空度、気体や液体の流量などの物理量を計測するための高感度、高精度、計測範囲拡大ができるような熱伝導型センサを提供する。【解決手段】基板から熱分離した薄膜に搭載したヒータと温度センサの構造で、ノイズが少ないヒータ加熱停止後の冷却過程で、温度センサからの出力を時間積分して出力とする。また、2つの異なる温度での加熱停止後の時間積分出力である高い温度の第1の積分出力と低い温度の第2の積分出力を、時分割で行うか、もしくは、同時に行うようにして、これらの差引積分値、必要に応じて、基板の絶対温度の情報や第1の積分出力値の情報を利用して周囲温度補正も行うようにする。これを水素ガスセンサと絶対湿度センサに適用すると共に、これらに好適なセンサチップも提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(1)から熱分離した薄膜(10)に、ヒータ(25)と温度センサ(20)とを有するセンサチップを備えてあり、周囲媒体の熱伝導率の変化に基づき、上記ヒータ(25)の加熱による前記薄膜(10)の温度変化を上記温度センサ(20)で検出する熱伝導型センサにおいて、所定の電力、電圧、電流で、もしくは、所定の温度になるように上記ヒータ(25)を加熱して、その加熱停止後の冷却過程で、所定の期間、上記温度センサ(20)の出力を時間積分して、その時間積分値の出力を利用して周囲媒体の物理量を計測するようにしたことを特徴とする熱伝導型センサ。

IPC (3件)：

G01N 25/18 , G01K 3/04 , G01K 7/01

FI (3件)：

G01N25/18 K , G01K3/04 , G01K7/00 391Z

Fターム (8件)：

2F056EM05 , 2F056EM07 , 2G040AB08 , 2G040BA23 , 2G040CB12 , 2G040DA02 , 2G040EA02 , 2G040EC02

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