回折格子を用いた3次元干渉計参照面の校正方法、および3次元干渉計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：重信和男 , 清水英雄 , 高木祐一 , 溝渕良一 , 小椋正幸 , 秋庭英樹 , 堅田多恵子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025720
公開番号（公開出願番号）：特開2013-160742
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：

【課題】精密な平面やレンズ面形状などの評価に用いられる干渉計において、その測定精度の基準となる参照面の校正を、特別高精度な基準を用いることなく自律的に評価できる手法、およびそれを用いた干渉測定機を提供する。【解決手段】干渉測定機において、ピッチ間隔一定の回折格子を用い、光学干渉計の測定光を光学回折素子に入射した際に発生する0次光と参照面からの反射による参照光とから生成される位相出力データI0(x、y)と、前記光学干渉計の測定光を前記光学回折素子に対し斜めに入射した際に発生する±1次回折光と前記参照面からの反射による参照光とから生成される位相出力データI±1(x、y)とから、差分演算により参照面の形状誤差を算出する。校正の基準となる回折格子自身も平面度誤差およびピッチ偏差を持つが、これらを原理上完全に取り除いた形での干渉計参照面形状の校正を実現する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

平面、球面、非球面など精密面の評価に用いられる光学干渉計のうち、その光学構成の中で測定の基準となる参照面を用いるものであって、一定間隔のピッチを有する光学回折素子を用い、前記光学干渉計の測定光を前記光学回折素子に入射した際に発生する0次光と、前記参照面からの反射による参照光と、から生成される位相出力データI0(x、y)と、前記光学干渉計の測定光を前記光学回折素子に入射した際に発生する+1次回折光と前記参照面からの反射による参照光とから生成される位相出力データI+1(x、y)と、前記光学干渉計の測定光を前記光学回折素子に入射した際に発生する-1次回折光と前記参照面からの反射による参照光とから生成される位相出力データI-1(x、y)とから、差分演算により前記参照面の形状誤差を求めることを特徴とする光学干渉計の校正方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

Fターム (30件)：

2F064AA09 , 2F064BB04 , 2F064BB05 , 2F064DD09 , 2F064EE05 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG44 , 2F064GG49 , 2F064GG53 , 2F064GG64 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F065AA53 , 2F065CC21 , 2F065DD06 , 2F065EE01 , 2F065EE08 , 2F065EE11 , 2F065FF52 , 2F065HH03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065QQ25 , 2G086FF01

前のページに戻る