特許
J-GLOBAL ID：201303053065272320

PZTナノ粒子インクベースの圧電センサを製作する方法およびシステム

発明者：
デュース, ジェフリー リン

デュース, ジェフリー リン について

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ジョンストン, スコット ロバート

ジョンストン, スコット ロバート について

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シェン, イ-イェウ

シェン, イ-イェウ について

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ツァオ, クオチョン

ツァオ, クオチョン について

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ホアン, シェン リン

ホアン, シェン リン について


出願人/特許権者：
ザ・ボーイング・カンパニー

ザ・ボーイング・カンパニー について

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ユニバーシティ オブ ワシントン スルー イッツ センター フォー コマーシャリゼーション

ユニバーシティ オブ ワシントン スルー イッツ センター フォー コマーシャリゼーション について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174413
公開番号（公開出願番号）：特開2013-048233
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
要約：
【課題】チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インクベースの圧電センサを製作する方法を提供する。【解決手段】チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インク106を製剤するステップを含む。さらに、噴霧堆積プロセス126および噴霧堆積装置146を有するインク堆積プロセス122によって、PZTナノ粒子インク156を基板101上に堆積して、PZTナノ粒子インクベースの圧電センサ110を形成するステップを含む。【選択図】図6A
請求項（抜粋）：
チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インクベースの圧電センサ(110)を製作する方法であって、 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)ナノ粒子インク(104)を製剤するステップと、 インク堆積プロセス(122)によって、前記PZTナノ粒子インク(104)を基板(101)上に堆積して、PZTナノ粒子インクベースの圧電センサ(110)を形成するステップと を含む方法。
IPC (7件)：
H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/39 ,  H01L 41/18 ,  B81C 1/00 ,  H01L 21/316 ,  C01G 25/00
FI (8件)：
H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101Z ,  B81C1/00 ,  H01L21/316 B ,  H01L21/316 X ,  C01G25/00
Fターム (20件)：
3C081BA55 ,  3C081CA02 ,  3C081CA31 ,  3C081DA21 ,  3C081EA01 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC01 ,  4G048AD02 ,  4G048AD04 ,  4G048AD08 ,  4G048AE06 ,  4G048AE07 ,  4G048AE08 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF17 ,  5F058BF47 ,  5F058BJ04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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