特許

J-GLOBAL ID：201303053252743604

試料の作製方法およびダメージ層除去装置

発明者： 佐藤 岳志 ,  山本 和生 ,  平山 司
出願人/特許権者： 一般財団法人ファインセラミックスセンター
代理人 (1件)： 水野 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-105565
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234855
出願日： 2012年05月07日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】 電気素子を動作状態で観察するその場観察に適した試料を作製する。【解決手段】 電気素子を動作状態で観察するその場観察のための試料を作製するため、電気素子から試料片を切り出し、集束イオンビーム法により試料片910aに薄膜部920を形成する。次いで、不活性ガスのイオンビームを薄膜部920を含む薄膜領域に照射する。これにより、薄膜部920を形成する際に形成され、試料片910aの電気素子としての動作に影響を与えるダメージ層を除去する。このダメージ層の除去の際に、試料片910aが電気素子として機能するか否かを判断可能な試料片910aの所定の電気的特性を評価する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

荷電粒子線顕微鏡により電気素子を動作状態で観察するその場観察のための試料の作製方法であって、 前記電気素子から試料片を切り出す試料片切出工程と、 集束イオンビーム法により前記試料片に薄膜部を形成する薄膜部形成工程と、 不活性ガスイオンビームを前記薄膜部を含む薄膜領域に照射することにより、前記薄膜部形成工程において形成され、前記試料片の電気素子としての動作に影響を与えるダメージ層を除去するダメージ層除去工程と を備え、 前記ダメージ層除去工程は、前記試料片の所定の電気的特性を評価する電気的特性評価工程を含み、 前記所定の電気的特性は、前記試料片が前記電気素子として機能するか否かを判断可能な電気的特性である、 試料の作製方法。

IPC (4件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01N 27/02 ,  H01J 37/305

FI (5件)：

G01N1/28 G ,  G01N1/32 B ,  G01N1/28 F ,  G01N27/02 Z ,  H01J37/305 A

Fターム (26件)：

2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052CA02 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052CA05 ,  2G052EC16 ,  2G052GA21 ,  2G052GA34 ,  2G052JA11 ,  2G060AA09 ,  2G060AE01 ,  2G060AF03 ,  2G060AF07 ,  2G060AG03 ,  2G060EA04 ,  2G060EB07 ,  2G060EB08 ,  2G060HC10 ,  2G060HC13 ,  2G060HE03 ,  2G060KA15 ,  2G060KA16 ,  5C034BB05 ,  5C034BB09