特許

J-GLOBAL ID：201303053339621289

表面検査装置

発明者： 高橋 一平
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (6件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸 ,  大内 秀治 ,  仲宗根 康晴 ,  坂井 志郎 ,  山野 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-020271
公開番号（公開出願番号）：特開2013-079986
出願日： 2013年02月05日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

【課題】ラインセンサを利用し、かつ被検体の表面欠陥を高精度に検出することができる表面検査装置を提供する。【解決手段】被検体12を搬送する搬送部14と、搬送部14にて搬送される被検体12の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部16と、被検体12に照射された明暗パターンを被検体12の幅方向に移動させる動力伝達機構18と、被検体12の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ20と、ラインセンサ20にて撮像された信号に基づいて被検体12の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部50と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検体を搬送する搬送手段と、 前記搬送手段にて搬送される前記被検体の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射手段と、 前記被検体に照射された前記明暗パターンを前記被検体の幅方向に移動させる移動手段と、 前記被検体の前記明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサと、 前記ラインセンサにて撮像された信号に基づいて前記被検体の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 A

Fターム (11件)：

2G051AA32 ,  2G051AA34 ,  2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CD01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01