特許
J-GLOBAL ID：201303054009124960
貫通穴付きガラス基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
横沢 志郎
, 河合 徹
, 河口 伸子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-010863
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147404
出願日： 2012年01月23日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】サンドブラスト法を利用して薄いガラス基板に微小な貫通穴を歩留り良く形成することのできる貫通穴付きガラス基板の製造方法を提案すること。【解決手段】厚さ方向に貫通する貫通穴を備えたガラス基板の製造方法では、まず、ガラス基板1よりも厚いガラス基板素材10の表面10a、裏面10bにおける貫通穴2の形成位置に対応する部位に、サンドブラストによって、貫通穴と同一径の表面側凹部11、裏面側凹部12を形成する(工程ST2、ST3)。次に、ガラス基板素材10の表面10a、裏面10bをウエットエッチングすることで、当該ガラス基板素材10をガラス基板1の厚さとなるまでスリミングして表面側凹部11と裏面側凹部12を連通させて貫通穴2とする(工程ST4)。これによって、貫通穴2を備えたガラス基板1が得られる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
厚さ方向に貫通する1個あるいは複数個の貫通穴を備えた貫通穴付きガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板よりも厚いガラス基板素材の表面に、サンドブラストによって、前記貫通穴の穴形状と同一あるいは当該貫通穴よりも一回り小さな形状で、前記ガラス基板素材の板厚の1/2未満の深さの表面側凹部を形成する表面側凹部形成工程と、
前記ガラス基板素材の裏面における前記表面側凹部に対応する部位に、サンドブラストによって、前記貫通穴と同一あるいは当該貫通穴よりも一回り小さな穴形状で、前記ガラス基板素材の板厚の1/2未満の深さの裏面側凹部を形成する裏面側凹部形成工程と、
前記ガラス基板素材の前記表面および前記裏面をウエットエッチングすることで、当該ガラス基板素材を前記ガラス基板の板厚と同一となるまでスリミングして、前記表面側凹部と前記裏面側凹部を連通させて前記貫通穴を形成する貫通穴形成工程とを有していることを特徴とする貫通穴付きガラス基板の製造方法。
IPC (3件)：
C03C 15/00
, B24C 1/04
, C03C 19/00
C03C15/00 Z
, B24C1/04 F
, B24C1/04 B
, C03C19/00 A
4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB06
, 4G059AB07
, 4G059AB09
, 4G059AB11
, 4G059AC01
, 4G059AC30
, 4G059BB04
, 4G059BB12
, 4G059BB14
