特許

J-GLOBAL ID：201303054534867540

共振子

発明者： 平野 圭介 ,  木村 悟利
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 船津 暢宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-220950
公開番号（公開出願番号）：特開2013-141202
出願日： 2012年10月03日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】 アンカーロスによる特性劣化を防ぎつつ、梁部の破損や配線部の断線を防いで、構造的な強度を向上させ、信頼性を向上させることができる共振子を提供する。【解決手段】 犠牲層が除去された基板上にエアギャップを介して保持された共振部2と、共振部2を支持する支持部1と、共振部2と支持部1とを接続する梁部30とを備え、梁部30が、共振部2に接続し、第1の幅で形成された細梁部31と、支持部1に接続し、第1の幅より広い第2の幅で形成された拡張梁部32とから構成され、エアギャップによって形成された段差35に拡張梁部32が形成された共振子としている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電薄膜上に形成された櫛型電極を備え、基板上にエアギャップを介して保持された共振部と、前記共振部を支持する支持部と、前記共振部の両端で前記共振部と前記支持部とを接続する2つの梁部とを有する共振子であって、 前記梁部が、第1の幅で前記共振部に接続する細梁部と、前記第1の幅より広い第2の幅で前記支持部に接続する拡張梁部とから成り、 前記エアギャップによって形成される段差に、前記拡張梁部が形成されていることを特徴とする共振子。

IPC (2件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/25

FI (2件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/25 A

Fターム (16件)：

5J097AA24 ,  5J097FF01 ,  5J097GG02 ,  5J097HA04 ,  5J097KK09 ,  5J097KK10 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF02 ,  5J108KK01