特許
J-GLOBAL ID：201303055017380467
スクライブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-143252
公開番号（公開出願番号）：特開2013-010650
出願日： 2011年06月28日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。【解決手段】調節部70は、スクライビングホイール50の温度を低下させる。調節部70は、主として、近接板71と、ノズル72と、冷却部78と、を有している。近接板71は、ホルダ35により保持されたスクライビングホイール50の上方に設けられている。スクライビングホイール50によりスクライブラインSLが形成される際、近接板71は、脆性材料基板4と近接する。複数のノズル72は、保持ユニット10に保持された脆性材料基板4と、近接板71との間の調節空間70aに、窒素ガスを吐出する。冷却部78は、ノズル72に供給される窒素ガスを、共通管75内で冷却する。これにより、調節空間70aの雰囲気が窒素ガスにより冷却され、スクライブ時のスクライビングホイールが十分冷却される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、
(a) スクライビングホイールと、
(b) 前記スクライビングホイールを保持するホルダと、
(c) 基板を保持しつつ移動させる保持ユニットと、
(d) 前記スクライビングホイールの温度を低下させる調節部と、
(e) 前記スクライビングホイールによりスクライブラインが形成される際に、前記調節部に前記スクライビングホイールを冷却させる制御ユニットと、
を備えることを特徴とするスクライブ装置。
IPC (3件)：
C03B 33/023
, B28D 1/24
, B28D 5/00
C03B33/023
, B28D1/24
, B28D5/00 Z
3C069AA03
, 3C069BA04
, 3C069BB01
, 3C069BB04
, 3C069CA11
, 3C069DA06
, 3C069DA07
, 3C069EA03
, 4G015FA03
, 4G015FB01
, 4G015FC02
, 4G015FC07
