特許

J-GLOBAL ID：201303055049399658

インプリント装置及び物品の製造方法

発明者： 塩出 吉宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-024521
公開番号（公開出願番号）：特開2013-162045
出願日： 2012年02月07日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：

【課題】インプリント装置において、パターンの転写精度の点で有利な技術を提供する。【解決手段】モールドに第1の力を加えてパターン面を変形させる変形部と、前記パターン面の変形量を測定する第1測定部と、前記変形部により前記モールドに複数の第1の力のそれぞれを加えた複数の状態のそれぞれにおいて、前記第1測定部により前記パターン面の変形量を測定するように制御する制御部と、前記モールドに加えられた前記複数の第1の力のそれぞれと前記パターン面の変形量との関係から、前記パターン面の変形量の変化率を算出する算出部と、前記算出部で算出された前記パターン面の変形量の変化率に基づいて、前記インプリント処理時の前記パターン面の変形量が目標量となるように、前記インプリント処理時における時刻と当該時刻に前記変形部が前記モールドに加えるべき第1の力との関係を表す第1制御プロファイルを校正する校正部と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたパターン面を有するモールドを基板上の樹脂に押し付けた状態で前記樹脂を硬化させ、硬化した前記樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板上にパターンを転写するインプリント処理を行うインプリント装置であって、 前記モールドに第1の力を加えて前記パターン面を変形させる変形部と、 前記パターン面の変形量を測定する第1測定部と、 前記変形部により前記モールドに複数の第1の力のそれぞれを加えた複数の状態のそれぞれにおいて、前記第1測定部により前記パターン面の変形量を測定するように制御する制御部と、 前記モールドに加えられた前記複数の第1の力のそれぞれと前記複数の第1の力のそれぞれに対応する前記パターン面の変形量との関係から、前記変形部が前記モールドに加える第1の力の変化に対する前記パターン面の変形量の変化率を算出する算出部と、 前記算出部で算出された前記パターン面の変形量の変化率に基づいて、インプリント処理時の前記パターン面の変形量が目標量となるように、前記インプリント処理時における時刻と当該時刻に前記変形部が前記モールドに加えるべき第1の力との関係を表す第1制御プロファイルを校正する校正部と、 を備えることを特徴とするインプリント装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (2件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

Fターム (14件)：

4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AP11 ,  4F209AP12 ,  4F209AR01 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31