特許

J-GLOBAL ID：201303055503677536

光学薄膜の製造方法及び吸収型多層膜NDフィルター

発明者： 佐藤 崇志
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (2件)： 山本 正緒 ,  辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-003278
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225105
出願日： 2013年01月11日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】 薄型化が要請されているカメラモジュール用として好適な吸収型多層膜NDフィルター等の光学薄膜を、薄い透明樹脂フィルム基板に光学薄膜を成膜する場合でも熱シワを発生させることなく成膜する方法を提供する。【解決手段】 透明樹脂フィルム基板1の第1の面に粘着力が0.03〜1.20N/cmの粘着層を有する保護テープ20aを貼り付け、保護テープ20aが貼り付けられていない第2の面に真空成膜法により光学薄膜を成膜する。その後、光学薄膜を成膜した第2の面に粘着層を有する保護テープを貼り付けると共に第1の面に貼り付けた保護テープを剥離して、その保護テープを剥離した透明樹脂フィルム基板の第1の面に真空成膜法により光学薄膜を成膜する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

透明樹脂フィルム基板の第1の面に粘着力が0.03〜1.20N/cmの粘着層を有する保護テープを貼り付け、保護テープが貼り付けられていない第2の面に真空成膜法により光学薄膜を成膜した後、該光学薄膜を成膜した第2の面に上記粘着層を有する保護テープを貼り付けると共に上記第1の面に貼り付けた保護テープを剥離して、その保護テープを剥離した透明樹脂フィルム基板の第1の面に真空成膜法により光学薄膜を成膜することを特徴とする光学薄膜の製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/00 ,  G03B 11/00 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/58

FI (4件)：

G02B5/00 A ,  G03B11/00 ,  C23C14/02 A ,  C23C14/58 Z

Fターム (18件)：

2H042AA06 ,  2H042AA11 ,  2H042AA22 ,  2H083AA05 ,  2H083AA19 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA25 ,  4K029BA46 ,  4K029BB04 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DC02 ,  4K029DC04 ,  4K029FA07 ,  4K029GA00 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03