特許
J-GLOBAL ID：201303056567705513
X線回折測定装置及び残留応力測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-260616
公開番号（公開出願番号）：特開2013-113734
出願日： 2011年11月29日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：
【課題】 測定対象物のX線による回折環の形状が不連続の状態で検出されていても、測定対象物の残留応力を精度よく検出できるようにする。【解決手段】 コントローラCT内に、残留応力の変化に応じて変化する複数の比較回折環の形状を表す回折環形状データ群を残留応力に対応させてそれぞれ記憶しておく。コントローラCTは、測定対象物のX線による回折環の形状を検出し、前記記憶されている回折環形状データ群によって表される複数の比較回折環の形状に対する、前記検出された測定対象物の回折環の形状の一致度合いをそれぞれ計算する。そして、コントローラCTは、前記記憶されている残留応力と、前記計算された一致度合いとの関係に基づいて、前記検出された測定対象物の回折環の形状に最も近い形状の比較回折環に対応した残留応力を測定対象物の残留応力として計算する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象とする測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、
中央に前記X線を通過させる貫通孔が形成されたテーブルと、
前記テーブルに取付けられて、中央部にて前記X線を通過させるとともに、前記測定対象物にて回折した前記X線の回折光を受光する受光面を有し、前記回折光の像である回折環を記録するイメージングプレートと、
レーザ光を出射するレーザ光源及びレーザ光を受光するフォトディテクタを有し、前記レーザ光を前記イメージングプレートの受光面に照射するとともに、前記レーザ光の照射によって前記イメージングプレートから出射された光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置と、
前記テーブルを、前記貫通孔の中心軸回りに回転させる回転手段と、
前記テーブルを、前記イメージングプレートの受光面に平行な方向に、前記レーザ検出装置に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御して前記テーブルを移動し、前記X線出射器から対象とする測定対象物に向けてX線を照射して、前記測定対象物で回折したX線によって前記イメージングプレートに測定対象物による回折環を撮像する回折環撮像手段と、
前記回転手段及び移動手段を制御して前記測定対象物の回折環が記録された前記イメージングプレートを回転及び移動させて、前記レーザ検出装置から出射されるレーザ光の前記イメージングプレートにおける照射位置を前記イメージングプレートの中心周りに回転させるとともに半径方向に変化させながら、前記レーザ検出装置から出力される受光信号をそれぞれ入力して、前記入力した受光信号によって表された受光強度を表す受光強度データを、レーザ光のイメージングプレートにおける照射位置と関連付けて順次読取り、前記読取った受光強度データに基づいて前記イメージングプレートに形成された測定対象物の回折環の形状を検出する回折環形状検出手段と、
前記測定対象物と同一材料の比較対象物に対してX線の照射によって前記イメージングプレートに形成される比較回折環を想定し、残留応力の変化に応じて変化する複数の比較回折環の形状を表す回折環形状データ群を残留応力に対応させてそれぞれ記憶した回折環形状データ記憶手段と、
前記回折環形状データ記憶手段に記憶された回折環形状データ群によって表された複数の比較回折環の形状に対する前記検出された測定対象物の回折環の形状の一致度合いをそれぞれ計算する一致度合い計算手段と、
前記回折環形状データ記憶手段に記憶されている残留応力と、前記一致度合い計算手段によって計算された一致度合いとの関係に基づいて、前記検出された測定対象物の回折環の形状に最も近い形状の比較回折環に対応した残留応力を測定対象物の残留応力として計算する第1残留応力計算手段とを備えたことを特徴とするX線回折測定装置。
IPC (3件)：
G01N 23/20
, G01L 1/25
, G01L 1/00
G01N23/20
, G01L1/25
, G01L1/00 A
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001GA13
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001KA07
