特許
J-GLOBAL ID：201303057461333044
パターン形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂本 智弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-213246
公開番号（公開出願番号）：特開2013-071085
出願日： 2011年09月28日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：
【課題】作業工程管理が容易で、安価な装置を使用したパターン形成方法を提供する。【解決手段】第1の液滴2と隣り合う第1の液滴2の中間に着弾した第2の液滴4とは、表面張力により液滴同士が集まり、瘤状からなる凝集体を形成しようとする。このとき、瘤状からなる凝集体を形成しようとすることによって部分的に途切れた箇所が生じるが、この途切れる箇所を補うように、中央ライン5の両側に交互に列方向にずれるように着弾配置した第1の液滴2が中央ライン5側に集まり、この結果、部分的に途切れた箇所が生じることなく、濡れ広がる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
インクジェット法で、紫外線硬化樹脂を含んだインクを液滴として吐出して基板上にパターンを形成するパターン形成方法であって、
基板表面上に撥液処理を施す撥液処理工程と、
基板に着弾した液滴の直径よりも大きいピッチで液滴を吐出し、前記インクにて第1の液滴を基板上に離間して着弾配置して列を形成する第1の液滴配置工程と、
前記インクにて第2の液滴を吐出し、列の中の隣り合う前記第1の液滴の中間の位置に着弾配置する第2の液滴配置工程と、
前記第1の液滴および前記第2の液滴を紫外線硬化させる硬化工程とを含む
ことを特徴とするパターン形成方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
4D075AC06
, 4D075AC92
, 4D075BB26Z
, 4D075BB46Z
, 4D075CA35
, 4D075CA48
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075DB43
, 4D075DC22
, 4D075DC24
, 4D075EA21
, 4D075EA33
, 4D075EA41
