特許

J-GLOBAL ID：201303058243156315

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス

発明者： 岩戸 薫 ,  高橋 秀知 ,  白川 三千紘
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (3件)： 高松 猛 ,  尾澤 俊之 ,  長谷川 博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-207018
公開番号（公開出願番号）：特開2013-068778
出願日： 2011年09月22日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】有機溶剤現像によるネガ型パターン形成において、現像後のパターン倒れ及びブリッジ欠陥の発生を抑え、残膜率も大きい感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、これを用いたレジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、及び電子デバイスを提供する。【解決手段】下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂(P)、 特定の一般式(B-1)〜(B-3)のいずれかで表される化合物(B)、及び溶剤を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 上記一般式(I)中、R0は、水素原子又はメチル基を表す。 R1、R2及びR3は、各々独立に、直鎖状又は分岐状のアルキル基を表す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表される繰り返し単位(a)を有する樹脂(P)、 下記一般式(B-1)〜(B-3)のいずれかで表される化合物(B)、及び溶剤 を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/18 ,  C08F 2/50

FI (9件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/32 ,  G03F7/32 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/18 ,  C08F2/50

Fターム (111件)：

2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA05 ,  2H096GA03 ,  2H096GA18 ,  2H125AF16P ,  2H125AF17P ,  2H125AF19P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF22P ,  2H125AF33P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH11 ,  2H125AH12 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ67X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ87Y ,  2H125AJ88Y ,  2H125AJ92Y ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM12P ,  2H125AM23P ,  2H125AM26P ,  2H125AM30P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN56P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC15 ,  2H125CD08P ,  2H125CD37 ,  2H125FA03 ,  4J011AA05 ,  4J011RA03 ,  4J011SA74 ,  4J011SA75 ,  4J011SA77 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011VA10 ,  4J011WA01 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA08Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA40P ,  4J100BC03R ,  4J100BC03S ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC12R ,  4J100BC53P ,  4J100BC58P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-107156   出願人：JSR株式会社