特許
J-GLOBAL ID:201303058667121929

テラヘルツ波用ワイヤーグリッド偏光子及びその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人グローバル知財
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-040940
公開番号(公開出願番号):特開2013-178303
出願日: 2012年02月28日
公開日(公表日): 2013年09月09日
要約:
【課題】物理的に安定し、製造が容易で低コストで、高精度なテラヘルツ領域のワイヤーグリッド偏光子を提供する。【解決手段】ワイヤーグリッドが形成されたポーラスシリコン膜を偏光子として用いる。P型シリコン基板表面に対して陽極化成法によってポーラスシリコン膜を作製する。ポーラスシリコン膜に対してインプリント加工を行い、ミクロンオーダーのラインアンドスペース構造を形成する。ラインアンドスペース構造のエッジ部分に対して斜め蒸着により、銀などの金属もしくは金属化合物を堆積させてワイヤーグリッドを形成する。上記の手順によって、ポーラスシリコン膜にワイヤーグリッドが形成されたテラヘルツ波用ワイヤーグリッド偏光子を作製する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
ポーラスシリコン膜にワイヤーグリッドが形成されたことを特徴とするテラヘルツ波用ワイヤーグリッド偏光子。
IPC (1件):
G02B 5/30
FI (1件):
G02B5/30
Fターム (8件):
2H149AA24 ,  2H149AB26 ,  2H149BA23 ,  2H149BB28 ,  2H149FA41W ,  2H149FD25 ,  2H149FD37 ,  2H149FD47

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