特許
J-GLOBAL ID：201303059337441940
波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-089971
公開番号（公開出願番号）：特開2013-218194
出願日： 2012年04月11日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】高精度に反射膜間ギャップのギャップ制御が実施可能であり、かつ、小型化が可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51に設けられた導電性の固定反射膜541と、可動基板52に設けられた導電性の可動反射膜542と、固定基板51に設けられた第一電極551と、可動基板52に設けられた第二電極552と、を具備し、固定反射膜541及び可動反射膜542により、第一静電アクチュエーター54が構成され、第一電極551及び第二電極552により、第二静電アクチュエーター55が構成された。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
第一基板と、
前記第一基板に対向して配置された第二基板と、
前記第一基板に設けられた導電性の第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対して反射膜間ギャップを介して対向して配置された、導電性の第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた第一電極と、
前記第二基板に設けられ、前記第一電極に対して電極間ギャップを介して対向して配置された第二電極と、を具備し、
前記第一反射膜及び前記第二反射膜により、前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更する第一静電アクチュエーターが構成され、
前記第一電極及び前記第二電極により、前記反射膜間ギャップのギャップ量を変更する第二静電アクチュエーターが構成された
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
2H141MA27
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MD04
, 2H141MF05
, 2H141MF28
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ13
, 2H141MZ16
, 2H141MZ22
, 2H141MZ27
, 2H141MZ28
, 3C081AA11
, 3C081AA13
, 3C081BA28
, 3C081BA45
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081DA24
, 3C081EA08
