特許
J-GLOBAL ID：201303061316341818
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及びセンサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-135574
公開番号（公開出願番号）：特開2013-224040
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
【課題】応力集中を抑制し圧電素子の破壊を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びにアクチュエーター装置を提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室12が設けられた流路形成基板10の一方面側に設けられた第一電極60、圧電体層70及び第二電極80からなる圧電素子300と、圧電素子を覆うと共に第二電極の上面を露出させる開口部101が設けられた無機絶縁材料からなる保護膜100とを具備し、圧電素子は圧電素子の駆動時に前記圧力発生室側に凸となるように変形し、保護膜の開口部の圧力発生室の長手方向における端部E1が、この変形時の圧電素子の圧力発生室の周壁近傍における曲がりの曲率中心が圧力発生室側にある領域S1よりも、中央側に位置する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面側に設けられた第一電極、圧電体層及び第二電極からなる圧電素子と、該圧電素子を覆うと共に前記第二電極の上面を露出させる開口部が設けられた無機絶縁材料からなる保護膜とを具備し、前記圧電素子は前記圧電素子の駆動時に前記圧力発生室側に凸となるように変形し、前記保護膜の前記開口部の前記圧力発生室の長手方向における端部が、この変形時の前記圧電素子の前記圧力発生室の周壁近傍における曲がりの曲率中心が圧力発生室側にある領域よりも、中央側に位置することを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG92
, 2C057AG99
, 2C057BA04
, 2C057BA14
