特許

J-GLOBAL ID：201303061763759463

光学素子保持装置、光学装置、及び露光装置

発明者： 岡田 尚也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-251244
公開番号（公開出願番号）：特開2013-106017
出願日： 2011年11月17日
公開日（公表日）： 2013年05月30日
要約：

【課題】光学素子の光が入射又は透過する面の変形を抑制した状態でその光学素子を保持する。【解決手段】照明光ILを反射するミラー22を有するミラー保持装置50であって、凹面鏡よりなるミラー22の照明光ILが入射する反射面22aの裏面22bに設けられて、反射面22aよりも断面形状が小さい凸状の連結部23と、連結部23に設けられて、連結部23よりも断面形状が大きい被保持部24と、被保持部24を支持するクランプ部25と、クランプ部25が設けられたカバー部材55と、カバー部材55が固定された分割鏡筒47と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光学素子を有する光学素子保持装置であって、 光が入射する前記光学素子の光学面の裏面に設けられて、前記光学面よりも断面形状が小さい凸状の接続部と、 前記接続部に連結されて、前記接続部よりも断面形状が大きい被保持部と、 前記被保持部のうち、前記接続部から離れた部分を支持する支持部と、 を備えることを特徴とする光学素子保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 7/02

FI (6件)：

H01L21/30 515D ,  H01L21/30 516A ,  G03F7/20 501 ,  G02B7/02 A ,  G02B7/02 B ,  G02B7/02 Z

Fターム (9件)：

2H044AA20 ,  2H044AB14 ,  2H044AJ07 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  5F146CB03 ,  5F146CB12 ,  5F146CB45 ,  5F146DA13