特許

J-GLOBAL ID：201303062234961989

塩及びレジスト組成物

発明者： 安立 由香子 ,  市川 幸司
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-143831
公開番号（公開出願番号）：特開2013-032337
出願日： 2012年06月27日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：

【課題】優れたCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる新規な塩、および当該塩と樹脂とを含有するレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される塩、および当該塩と、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂とを含有するレジスト組成物。[式(I)中、Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子等を表す。L1は、単結合又は炭素数1〜17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置き換わっていてもよく、該2価の脂肪族飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。R1は、ヒドロキシ基又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。lは、0〜3の整数を表す。Z+は、有機カチオンを表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される塩。

IPC (7件)：

C07D 335/02 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C07C 381/12 ,  C09K 3/00 ,  C08F 20/10 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

C07D335/02 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C09K3/00 K ,  C08F20/10 ,  H01L21/30 502R

Fターム (33件)：

2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4C023JA06 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB80 ,  4J100AL08P ,  4J100BA15P ,  4J100BC09P ,  4J100JA38