特許
J-GLOBAL ID：201303062369017628
絞り装置、光学系および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-085894
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217984
出願日： 2012年04月04日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】絞り装置の作動音の低減に有利な技術を提供する。【解決手段】互いに重なりあった複数の遮光羽によって光学系の開口を規定する絞り装置において、遮光羽2-Aは、該遮光羽2-Aに隣接する隣接部材と接触する接触面を有する線状の接触部15-Aを含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
互いに重なりあった複数の遮光羽によって光学系の開口を規定する絞り装置であって、
各遮光羽は、該遮光羽に隣接する隣接部材と接触する接触面を有する線状の接触部を含む、
ことを特徴とする絞り装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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