特許

J-GLOBAL ID：201303062726392084

搬送装置及び塗布装置

発明者： 宮本 英典
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  五十嵐 光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-059005
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222963
出願日： 2013年03月21日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：

【課題】基板の破損を低減すること。【解決手段】金属を含む液状体が塗布された状態で加熱された基板を搬送する搬送装置であって、移動可能に設けられ、加熱された前記基板を保持する保持部と、前記保持部の温度を調整する温調部とを備える。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

金属を含む液状体が塗布された状態で加熱された基板を搬送する搬送装置であって、 移動可能に設けられ、加熱された前記基板を保持する保持部と、 前記保持部の温度を調整する温調部と を備える搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ,  H01L 31/04 ,  B05C 9/14 ,  B05C 13/02

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  H01L31/04 E ,  B05C9/14 ,  B05C13/02

Fターム (32件)：

4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA19 ,  4F042DB04 ,  4F042DB17 ,  4F042DF09 ,  4F042DF11 ,  4F042DF16 ,  4F042DF25 ,  4F042DF29 ,  5F131AA02 ,  5F131AA34 ,  5F131BA02 ,  5F131CA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA35 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB44 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DC11 ,  5F131DC22 ,  5F131EA04 ,  5F131EB81 ,  5F131HA28 ,  5F131KA03 ,  5F131KA23 ,  5F131KA52 ,  5F151AA10 ,  5F151BA14