特許

J-GLOBAL ID：201303062808471772

切削ブレード先端形状検出方法

発明者： 紀 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-200732
公開番号（公開出願番号）：特開2013-059833
出願日： 2011年09月14日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：

【課題】 切削ブレードの先端形状を効率良く検出し、切削ブレードの交換の要否を判断可能な切削ブレード先端形状検出方法を提供することである。【解決手段】 チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円板状の切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、切り込み深さを複数回変化させて被加工物を切削し、深さの異なる複数の溝を形成する溝形成ステップと、該複数の溝をそれぞれ撮像手段の直下に位置付けて該複数の溝を撮像し、各溝の溝幅を測定する溝幅測定ステップと、該複数の溝の切り込み深さ及び該溝幅測定ステップで測定した該各溝幅に基づいて、該切削ブレードの先端形状を算出する形状算出ステップと、を具備したことを特徴とする。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円板状の切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、 切り込み深さを複数回変化させて被加工物を切削し、深さの異なる複数の溝を形成する溝形成ステップと、 該複数の溝をそれぞれ撮像手段の直下に位置付けて該複数の溝を撮像し、各溝の溝幅を測定する溝幅測定ステップと、 該複数の溝の切り込み深さ及び該溝幅測定ステップで測定した該各溝幅に基づいて、該切削ブレードの先端形状を算出する形状算出ステップと、 を具備したことを特徴とする切削ブレード先端形状検出方法。

IPC (2件)：

B24B 49/12 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

B24B49/12 ,  H01L21/78 F

Fターム (7件)：

3C034AA19 ,  3C034BB93 ,  3C034CA09 ,  3C034CA13 ,  3C034CA22 ,  3C034DD05 ,  3C034DD10