特許
J-GLOBAL ID:201303062845659722

基質上に三つの結晶軸がすべて一様に整列した、種子結晶の2次成長によって形成された膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 一色国際特許業務法人
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-528118
公開番号(公開出願番号):特表2013-538779
出願日: 2011年09月07日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
本発明は、基質上に、各非球面種子結晶(non-spherical seed crystal)の結晶a軸、b軸およびc軸のすべてが一定の規則によって配向されるよう整列した非球形の種子結晶を収得する第1段階;および種子結晶を成長させる溶液に前記a軸、b軸およびc軸配向がすべて整列した種子結晶を露出させて2次成長法を用いて、前記種子結晶から膜を形成し、成長させる第2段階を含む、薄膜(film)または厚膜を製造する方法;および前記方法によって製造された膜を提供する。 本発明による製造方法によって、種子結晶より大きなサイズの結晶または膜を製造することができる。【選択図】図17
請求項(抜粋):
基質上に、各非球面種子結晶(non-spherical seed crystal)の結晶a軸、b軸およびc軸のすべてが一定の規則によって配向されるように整列した複数の非球形種子結晶を収得する第1段階;および 種子結晶を成長させる溶液に前記a軸、b軸およびc軸配向がすべて整列した複数の種子結晶を露出させて2次成長法を用いて、前記複数の種子結晶から膜を形成および成長させる第2段階を含む、薄膜または厚膜を製造する方法。
IPC (3件):
C30B 7/10 ,  C01B 39/04 ,  C30B 29/22
FI (3件):
C30B7/10 ,  C01B39/04 ,  C30B29/22 Z
Fターム (19件):
4G073BB19 ,  4G073BB42 ,  4G073BB48 ,  4G073BD18 ,  4G073CZ13 ,  4G073CZ31 ,  4G073CZ34 ,  4G073CZ49 ,  4G073CZ54 ,  4G073FC12 ,  4G077AA03 ,  4G077BC60 ,  4G077CB01 ,  4G077ED02 ,  4G077ED05 ,  4G077EE05 ,  4G077EE10 ,  4G077KA05 ,  4G077KA13
引用特許:
審査官引用 (3件)

前のページに戻る