特許
J-GLOBAL ID：201303063977141354

研磨装置

発明者：
福島 誠

福島 誠 について

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戸川 哲二

戸川 哲二 について

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安田 穂積

安田 穂積 について

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齋藤 康二

齋藤 康二 について

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鍋谷 治

鍋谷 治 について

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井上 智視

井上 智視 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022986
公開番号（公開出願番号）：特開2013-082069
出願日： 2013年02月08日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：
【課題】基板を保持するトップリングの外周部に設けられ基板の外周縁を保持するリテーナリングの研磨面に対する追従性を高め、所望のリテーナリング面圧を研磨面に与えることができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨面を有した研磨テーブル100と、圧力流体が供給される圧力室を有し、圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面101aに押圧するトップリング本体2と、トップリング本体2の外周部に設けられるとともにトップリング本体2とは独立して上下動可能に設けられ、研磨面101aを押圧するリテーナリング3とを備え、リテーナリング3を研磨面101aの動きに追従させるためにリテーナリング3を傾動可能に支持する支持機構を基板の中心部の上方に位置させるようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
研磨面を有した研磨テーブルと、 圧力流体が供給される圧力室を有し、前記圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を前記研磨面に押圧するトップリング本体と、 前記トップリング本体の外周部に設けられるとともに前記トップリング本体とは独立して上下動可能に設けられ、前記研磨面を押圧するリテーナリングとを備え、 前記リテーナリングを傾動可能に支持する支持機構を前記基板の中心部の上方に位置させるようにしたことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/32 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
B24B37/04 Q ,  H01L21/304 622G
Fターム (15件)：
3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB04 ,  3C058DA17 ,  5F057AA04 ,  5F057AA16 ,  5F057AA37 ,  5F057AA39 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA02 ,  5F057FA19 ,  5F057FA21
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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