特許
J-GLOBAL ID:201303064340735974

無給電ワイヤレス式センサモジュールおよびワイヤレス式物理量検出システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 居藤 洋之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-128560
公開番号(公開出願番号):特開2012-255706
出願日: 2011年06月08日
公開日(公表日): 2012年12月27日
要約:
【課題】従来の無給電ワイヤレス式センサモジュールに比べてセンサとしての感知幅を広くすることができる無給電ワイヤレス式センサモジュールおよびワイヤレス式物理量検出システムを提供する。【解決手段】センサモジュール200は、圧電効果によって表面弾性波を発生させる圧電基板202を備えている。圧電基板202は、絶縁層204で被覆された導電性基板205上に固定されている。圧電基板202上には、アンテナ208と圧電基板202との間で高周波信号と表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換IDT206と、サーミスタ209が接続されて同サーミスタ209のインピーダンス変化に応じて表面弾性波の反射率が変化する表面弾性波反射IDT207とが互いに対向配置されている。表面弾性波変換IDT206、表面弾性波反射IDT207およびサーミスタ209は、導電性基板205を介して互いに電気に接続されて共通電位が供給される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、 無線送信される駆動信号を受信するとともに応答信号を無線送信するために電波と高周波電気信号とを相互に変換するアンテナと、 2つの第1櫛歯状電極のうちの一方が前記アンテナに接続された状態で前記2つの第1櫛歯状電極が前記圧電基板上で互いに対向配置されて前記高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、 外部から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、 2つの第2櫛歯状電極のうちの一方が前記インピーダンス変化型センサにおける一方の端子に接続された状態で前記2つの第2櫛歯状電極が前記圧電基板上で互いに対向配置されて前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段とを備え、 前記表面弾性波変換手段における他方の第1櫛歯状電極、前記表面弾性波反射手段における他方の第2櫛歯電極および前記インピーダンス変化型センサにおける他方の端子が、互いに電気的に接続されることを特徴とする無給電ワイヤレス式センサモジュール。
IPC (3件):
G01N 29/00 ,  G01K 7/32 ,  G01L 1/00
FI (3件):
G01N29/20 ,  G01K7/32 S ,  G01L1/00 L
Fターム (4件):
2G047BC19 ,  2G047CB03 ,  2G047EA17 ,  2G047GG28
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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