特許
J-GLOBAL ID：201303064608717290
SAWセンサおよびSAWセンサ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-073528
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205172
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】 高精度のSAWセンサを提供する。 【解決手段】 入力側IDT電極5と出力側IDT電極6と入力側IDT電極および出力側IDT電極6の間に位置する検出部7とを有するSAWセンサ100であって、入力側IDT電極5に、高周波信号が、検出部7による弾性表面波の遅延時間から入力側IDT電極5と出力側IDT電極6との電磁結合に起因する直達波の到達時間を差し引いた時間以上であり、かつ入力側IDT電極5から出力側IDT電極6への弾性表面波の3次応答波の到達時間未満の印加時間の1パルスの信号として入力されるものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電基板と、
該圧電基板の一主面に配置された、高周波信号の印加によって弾性表面波を発生する入力側IDT電極と、
前記圧電基板の一主面に配置された、前記入力側IDT電極からの前記弾性表面波を受信して電気信号に変換して出力する出力側IDT電極と、
前記圧電基板の一主面のうち前記入力側IDT電極および前記出力側IDT電極の間に位置した、前記弾性表面波を遅延させるとともに、検体が備える標的の吸着または該標的との反応に応じて質量が変化する検出部とを有し、
前記入力側IDT電極に、前記高周波信号が、前記検出部による前記弾性表面波の遅延時間から前記入力側IDT電極と前記出力側IDT電極との電磁結合に起因する直達波の到達時間を差し引いた時間以上であり、かつ前記入力側IDT電極から前記出力側IDT電極への前記弾性表面波の3次応答波の到達時間未満の印加時間の1パルスの信号として入力される、SAWセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G047AA01
, 2G047BC14
, 2G047BC15
, 2G047CA01
, 2G047CB03
, 2G047EA05
, 2G047GF06
, 2G047GG29
