特許
J-GLOBAL ID：201303064670910225
大気中マイクロ波プラズマニードル発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
増田 恒則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-057553
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165064
出願日： 2013年03月21日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【課題】プラズマを同軸導波管の外側で発生させることにより、プラズマによる熱損傷を防止するとともに、プラズマの温度調整幅が大きくとれる大気中マイクロ波プラズマニードル発生装置を得る。【解決手段】マイクロ波発生装置(1)に、筒状の外部導体(11)の軸心部に内部導体(12)を同軸に嵌合させてなる同軸導波管(10)を設け、内部導体(12)に導体性のアンテナ(13)を接続するとともに、該アンテナ(13)を外部導体(11)から外部に露出させ、ガス供給装置(20)によって供給されるプラズマ発生用のガスをアンテナ(13)の露出端部に向けて吐出し、アンテナ(13)は内部導体(12)の軸線方向に延長させて外部導体(11)から外部に露出させるとともに、その露出量(H1)をマイクロ波の波長の1/4以下とし、マイクロ波発生装置(1)の電力を2.5W〜10Wとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マイクロ波発生装置に、筒状の外部導体の軸心部に内部導体を同軸に嵌合させてなる同軸導波管を設け、前記内部導体に導体性のアンテナを接続するとともに、該アンテナを前記外部導体から外部に露出させ、ガス供給装置によって供給されるプラズマ発生用のガスを前記アンテナの露出端部に向けて吐出し、前記アンテナは前記内部導体の軸線方向に延長させて前記外部導体から外部に露出させるとともに、その露出量をマイクロ波の波長の1/4以下とし、前記マイクロ波発生装置の電力を2.5W〜10Wとしたことを特徴とする大気中マイクロ波プラズマニードル発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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