粘着シートおよびその使用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313592
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212530
特許番号：特許第4828009号
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基材と、その上に形成された中間層と、該中間層の上に形成された粘着剤層とからなる粘着シートであって、中間層の40°Cにおける弾性率が1.0×106Pa未満であり、前記中間層が、アクリル系粘着剤とジイソシアナート系硬化剤とを含有するアクリル系粘着剤組成物、または光重合性ウレタンアクリレート系オリゴマーと光重合性モノマーとを含有する樹脂組成物から形成されることを特徴とする半導体ウエハの表面保護用粘着シート。

IPC (2件)：