特許

J-GLOBAL ID：201303066005700450

オゾン発生装置およびその製造方法

発明者： 竹村 光治
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-106157
公開番号（公開出願番号）：特開2013-234081
出願日： 2012年05月07日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：

【課題】小型化や低背化、駆動電圧の低電圧化が容易であり、製造工程を簡易なものにすることができる、オゾン発生装置と、その製造方法とを実現する。【解決手段】オゾン発生装置1は、基板2と、電極形成部22A,22Bと、放電孔21A,21B,21Cと、駆動電極3A,3Bとを備える。基板2は、第1の主面2aと、第1の主面2aと対向する第2の主面2bとを有し、誘電体からなる。電極形成部22A,22Bは、基板2の第1の主面2aに設けられている凹部からなる。放電孔21A,21B,21Cは、基板2に設けられている貫通孔からなり、第1の主面2aと第2の主面2bとのそれぞれに開口を有し、電極形成部22A,22Bの間に位置する。駆動電極3A,3Bは、電極形成部22A,22Bの内部に設けられている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

第1の主面と、前記第1の主面と対向する第2の主面とを有し、誘電体からなる基板と、 前記基板の前記第1の主面に設けられている凹部からなる複数の電極形成部と、 前記基板に設けられている貫通孔からなり、前記第1の主面と前記第2の主面とのそれぞれに開口を有し、前記複数の電極形成部の間に位置する、少なくとも1つの放電孔と、 前記複数の電極形成部の内部に設けられている複数の駆動電極とを備える、オゾン発生装置。

IPC (1件)：

C01B 13/11

FI (2件)：

C01B13/11 G ,  C01B13/11 F

Fターム (4件)：

4G042CA01 ,  4G042CC04 ,  4G042CC06 ,  4G042CC16