照明装置及び光学装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：南義明 , 韮澤弘 , 田中貞嗣 , 小山卓志 , 阿部龍吉 , 蛭川昌信 , 内田亘彦 , 青木健二 , 米澤明 , 片寄武彦 , 菅井英雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-277685
公開番号（公開出願番号）：特開2013-092788
出願日： 2012年12月20日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：

【課題】スペックルノイズが目立つことなく、被照明領域(像形成領域)を均一に照明する照明装置、光学装置を提供する。【解決手段】本発明に係る照明装置は、コヒーレント光を出射する光源11と、光源11から出射されたコヒーレント光を走査する光走査部15と、複数の要素レンズを有し、光走査部で走査された光を発散させるレンズアレイ22と、レンズアレイ22の各点から出射される発散光の発散角度を抑えるとともに、発散角度の抑えられた発散光が被照明領域を経時的に重ねて照明するように設定された光路変換系23と、を備え、レンズアレイ22の入射側あるいは出射側には、隣接する要素レンズ間で通過光束同士が干渉しないように、偏光制御素子もしくは光路差長を与える光学素子が設けられていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

コヒーレント光を出射する光源と、前記光源から出射されたコヒーレント光を走査する光走査部と、複数の要素レンズを有し、前記光走査部で走査された光を発散させるレンズアレイと、前記レンズアレイの各点から出射される発散光の発散角度を抑えるとともに、発散角度の抑えられた発散光が被照明領域を経時的に重ねて照明するように設定された光路変換系と、を備え、前記レンズアレイの入射側あるいは出射側には、隣接する前記要素レンズ間で通過光束同士が干渉しないように、偏光制御素子が設けられていることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

G03B 21/14 , G02B 27/48 , G02B 19/00 , G02B 3/00

FI (4件)：

G03B21/14 A , G02B27/48 , G02B19/00 , G02B3/00 A

Fターム (17件)：

2H052BA02 , 2H052BA03 , 2H052BA09 , 2H052BA14 , 2K103AA05 , 2K103AA07 , 2K103AA14 , 2K103AB05 , 2K103AB10 , 2K103BA02 , 2K103BC03 , 2K103BC11 , 2K103BC20 , 2K103BC26 , 2K103BC45 , 2K103BC47 , 2K103CA17

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-212816
情報記録装置およびその光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-041338 出願人：リコー光学株式会社
リソグラフィ用の照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-130363 出願人：エスヴィージーリトグラフィーシステムズインコーポレイテッド

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