特許
J-GLOBAL ID：201303066084767360
分割装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-201901
公開番号（公開出願番号）：特開2013-065603
出願日： 2011年09月15日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】切削手段によって個々に分割された複数のチップ収容で、かつ小型化が可能な分割装置を提供する。【解決手段】格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を備えた被加工物を分割予定ラインに沿って分割する分割装置であって、複数の分割予定ラインと対応する領域に切削ブレード43の切れ刃の逃がし溝が格子状に形成されるとともに、逃がし溝によって区画された複数の領域にそれぞれ吸引孔を備えた被加工物の吸引保持テーブル31と、保持テーブルに吸引保持された加工前の被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段4と、該切削手段によって個々に分割された複数のチップを乾燥する乾燥手段14と、乾燥された複数のチップをバルク収容するバルク収容手段15と、乾燥手段によって乾燥された複数のチップをバルク収容手段に落とし込むチップ落とし込み手段16とを具備している【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成され該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を備えた被加工物を複数の分割予定ラインに沿って分割する分割装置であって、
加工前の被加工物を収容したカッセットを載置するカセット載置領域と、
該カセット載置領域に載置されたカッセットに収容されている加工前の被加工物を仮置き手段に搬出する被加工物搬出手段と、
被加工物に形成された複数の分割予定ラインと対応する領域に切削ブレードの切れ刃を逃がす逃がし溝が格子状に形成されるとともに逃がし溝によって区画された複数の領域にそれぞれ吸引孔を備え被加工物を吸引保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを被加工物を搬入および搬出する搬入・搬出領域と加工領域に移動せしめる移動手段と、
該仮置き手段に搬出された加工前の被加工物を該搬入・搬出領域に位置付けられた該保持テーブルに搬送する被加工物搬入手段と、
該保持テーブルに保持された被加工物の加工すべき領域を撮像する撮像手段と、
該加工領域に配設され該保持テーブルに吸引保持された加工前の被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、
該切削手段によって被加工物が複数の分割予定ライン沿って切削されることによって個々に分割された複数のチップを乾燥する乾燥手段と、
該搬入・搬出領域に位置付けられた該保持テーブルに載置されている個々に分割された複数のチップと対応する領域に複数の吸引孔を有する吸引保持パッドを備え、該搬入・搬出領域に位置付けられた該保持テーブルに載置されている個々に分割された複数のチップを該乾燥手段に搬送する被加工物搬送手段と、
該乾燥手段によって乾燥された複数のチップをバルク収容するバルク収容手段と、
該乾燥手段によって乾燥された複数のチップを該バルク収容手段に落とし込むチップ落とし込み手段と、
該被加工物搬出手段と該保持テーブルと該移動手段と該被加工物搬入手段と該撮像手段と該切削手段と該乾燥手段と該被加工物搬送手段と該チップ落とし込み手段を制御する制御手段と、を具備している、
ことを特徴とする分割装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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