特許

J-GLOBAL ID：201303066926083944

ウェーハ搬送装置

発明者： 溝河 巧 ,  北澤 保良
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004548
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143558
出願日： 2012年01月13日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：

【課題】未処理ウェーハに付着していた汚染物質が処理済みウェーハに付着する事態を防止可能なウェーハ搬送装置を提供する。【解決手段】未処理ウェーハW1を収容したFOUP1を載置する搬入用ロードポート2Aと、そのFOUP1から未処理ウェーハW1を取り出す搬送ロボット4Aを設けた搬入室3Aと、搬入室3A側から搬送ロボット4Aがアクセス可能な搬入用ロードロック5Aと、処理済みウェーハW2を収容し得るFOUP1を載置可能な搬出用ロードポート2Bと、そのFOUP1に処理済みウェーハW2を受け渡す搬送ロボット4Bを設けた搬出室3Bと、搬出室3B側から搬送ロボット4Bがアクセス可能な搬出用ロードロック5Bとを備え、搬入室3Aと搬出室3Bとを相互に隔離し、搬入用ロードロック5A及び搬出用ロードロック5Bを段違いに配置した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

未処理ウェーハを半導体製造処理装置に搬入するとともに、処理済みウェーハを半導体製造処理装置から搬出するウェーハ搬送装置であって、 前記未処理ウェーハを収容したFOUPを載置可能な搬入用ロードポートと、 前記搬入用ロードポートを前面に配置し且つ内部空間に前記搬入用ロードポート上のFOUPから前記未処理ウェーハを取り出す搬入室内ウェーハ搬送ロボットを設けた搬入室と、 前記搬入室と前記半導体製造処理装置との間に配置され且つ前記搬入室側から前記搬入室内ウェーハ搬送ロボットがアクセス可能な搬入用ロードロックと、 前記処理済みウェーハを収容し得るFOUPを載置可能な搬出用ロードポートと、 前記搬出用ロードポートを前面に配置し且つ内部空間に前記搬出用ロードポート上のFOUPに前記処理済みウェーハを受け渡す搬出室内ウェーハ搬送ロボットを設けた搬出室と、 前記搬出室と前記半導体製造処理装置との間に配置され且つ前記搬出室側から前記搬出室内ウェーハ搬送ロボットがアクセス可能な搬出用ロードロックとを備え、 前記搬入室と前記搬出室とを隔壁によって相互に隔離し、 前記搬入用ロードロック及び前記搬出用ロードロックを上下に重なる位置に段違いに配置していることを特徴とするウェーハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C

Fターム (23件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA37 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA04 ,  5F031MA06 ,  5F031MA09 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA09 ,  5F031PA21 ,  5F031PA25