特許
J-GLOBAL ID:201303067267171756

マイクロ流体構造、特にバイオチップを製造する方法および該方法によって得られた構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 三枝 英二 ,  掛樋 悠路 ,  小原 健志 ,  斎藤 健治 ,  藤井 淳 ,  関 仁士 ,  中野 睦子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-503354
特許番号:特許第4931330号
出願日: 2001年06月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】マイクロ流体構造物を製造する方法であって、 -基体13の表面上に第1レジスト層11をスピンコーティングして、該第1レジスト層11をベークする、第1工程; -少なくともマイクログルーブ9の形状9aを規定するために、マスクを通して該第1レジスト層11をUV暴露に供する、第2工程; -該第1レジスト層11を現像することなく、該第1レジスト層11上に第2レジスト層15をスピンコーティングして、第2レジスト層15をベークする、第3工程; -少なくとも垂直のマイクロウェル7の形状7aを規定するためにマスクを通して該第2レジスト層15をUV暴露に供する、第4工程; -3次元マイクロモールド20を得るために前記第1レジスト層11及び第2レジスト層15を現像する、第5工程;及び -前記マイクロモールドと前記マイクロモールド上にプレスされたプレートとの間にポリマー材料を注入し、該ポリマー材料をベイキングする最終工程、 を包含する方法。
IPC (2件):
C12M 3/00 ( 200 6.01) ,  G01N 37/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
C12M 3/00 A ,  G01N 37/00 101

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