特許
J-GLOBAL ID:201303068366748379

反射防止フィルム製造用金型の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 正林 真之 ,  林 一好
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-179219
公開番号(公開出願番号):特開2013-039780
出願日: 2011年08月18日
公開日(公表日): 2013年02月28日
要約:
【課題】高精細かつ均一なモスアイ構造を賦形可能な反射防止フィルム製造用金型、及び、反射防止フィルム製造用金型の製造方法を提供する。【解決手段】反射防止フィルム製造用金型は、アルミニウム合金により形成される基材部と、基材部上にアルミニウムにより形成された層であり、その表面に可視光領域の光の波長よりも短い周期で複数の微細孔が配列された酸化皮膜を有する賦形部とを備え、微細孔は、開口部から底部に向かってその径が小さくなるテーパー形状を有しているものとした。また、この反射防止フィルム製造用金型は、アルミニウム層形成工程と、微細孔形成工程を備え、微細孔形成工程は、陽極酸化工程と、第1エッチング工程と、第1エッチング工程のエッチングレートよりも高いエッチングレートでエッチングする第2エッチング工程とを備え、これらの工程を順次繰り返すものとした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
可視光領域の光の波長よりも短い周期で配列された凸部によって形成された微細凹凸形状を有する反射防止フィルムの前記微細凹凸形状を賦形する反射防止フィルム製造用金型であって、 アルミニウム合金により形成され、この反射防止フィルム製造用金型の基材となる基材部と、 前記基材部上にアルミニウムにより形成された層であり、その表面に可視光領域の光の波長よりも短い周期で配列された凹状の複数の微細孔を有する酸化皮膜を有する賦形部と、 を備え、 前記微細孔は、開口部から底部に向かってその径が小さくなるテーパー形状を有していること、 を特徴とする反射防止フィルム製造用金型。
IPC (6件):
B29C 59/04 ,  C25D 11/24 ,  C25D 11/04 ,  C25D 11/18 ,  B29C 33/38 ,  G02B 1/11
FI (6件):
B29C59/04 C ,  C25D11/24 302 ,  C25D11/04 302 ,  C25D11/18 312 ,  B29C33/38 ,  G02B1/10 A
Fターム (31件):
2K009AA01 ,  2K009AA12 ,  2K009BB06 ,  2K009CC03 ,  2K009CC14 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD12 ,  4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH73 ,  4F202AJ02 ,  4F202AJ08 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ10 ,  4F202CA19 ,  4F202CB02 ,  4F202CD22 ,  4F202CD24 ,  4F209AF01 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA03 ,  4F209PB02 ,  4F209PC05 ,  4F209PQ01 ,  4F209PQ03

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