特許
J-GLOBAL ID:201303069781019303

非接触保持・搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-242949
公開番号(公開出願番号):特開2013-094949
出願日: 2011年11月06日
公開日(公表日): 2013年05月20日
要約:
【課題】ワーク等保持対象物の旋回流による回転を防止した状態で非接触保持することができる低騒音で運転コストが低くかつ設計・製作が簡略化される安価な非接触保持装置を提供する。【解決手段】流体供給口4から放射方向へ流体を吐出する流体吐出部ユニット2と流体を噴出させる噴出口6およびこの噴出口6に向けて漸次拡開する噴出凹部を形成するスカート部ユニット3の2つの独立した機能を持つユニットで構成している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一方の端部付近に流体供給口を有し、ワーク側のもう一方の端部に流体供給口端部からワーク側の端部に向かう軸方向に対して放射方向に流体を吐出するための吐出口を有する柱状の流体吐出部と流体を噴出させる噴出口およびこの噴出口に向けて漸次拡開する側面を有し噴出口の外縁部に一体に連成されて、この噴出口に対向するワークの対向面と対向し、このワークの対向面方向への流体の流れを案内する平坦状端面を有する噴出凹部を形成するスカート部の2つのパートで構成することを特徴とする非接触保持装置。
IPC (2件):
B25J 15/06 ,  H01L 21/677
FI (2件):
B25J15/06 Z ,  H01L21/68 C
Fターム (8件):
3C707FS04 ,  3C707FT10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA28 ,  5F031PA30

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