特許
J-GLOBAL ID:201303071246171745
ダイシング・ダイボンディング一体型テープ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 平野 裕之
, 鈴木 洋平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-151883
公開番号(公開出願番号):特開2013-021060
出願日: 2011年07月08日
公開日(公表日): 2013年01月31日
要約:
【課題】ピックアップ工程において小さい突き上げ量でも、半導体チップを十分にピックアップ可能なダイシング・ダイボンディング一体型テープを提供すること。【解決手段】本発明のダイシング・ダイボンディング一体型テープは、基材層、粘着層及び接着層がこの順で積層されたものであり、粘着層は光照射前の破断伸びが140%以下である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材層、粘着層及び接着層がこの順で積層されたダイシング・ダイボンディング一体型テープであって、
前記粘着層は、光照射前の破断伸びが140%以下である、ダイシング・ダイボンディング一体型テープ。
IPC (5件):
H01L 21/301
, C09J 7/02
, C09J 11/06
, C09J 133/00
, H01L 21/52
FI (5件):
H01L21/78 M
, C09J7/02 Z
, C09J11/06
, C09J133/00
, H01L21/52 E
Fターム (25件):
4J004AA01
, 4J004AA10
, 4J004AA12
, 4J004AA13
, 4J004AA14
, 4J004AA17
, 4J004AB07
, 4J004CC02
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040EF281
, 4J040EF282
, 4J040FA231
, 4J040FA232
, 4J040JA09
, 4J040JB08
, 4J040KA16
, 4J040MB03
, 4J040NA20
, 5F047BA34
, 5F047BA35
, 5F047BA37
, 5F047BB03
, 5F047BB13
, 5F047BB19
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