特許

J-GLOBAL ID：201303071943418260

配線検査治具及び配線検査装置

発明者： 根岸 丈夫 ,  浅野 寿文 ,  早川 英二
出願人/特許権者： ガーディアンジャパン株式会社
代理人 (1件)： 松下 昌弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-148728
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015422
出願日： 2011年07月04日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：

【課題】複数のプローブをそれぞれ一定以上の力で付勢する汎用的な構成を備えておりながら、プローブの撓みによる短絡を防止でき、かつ、プローブと検査対象の基板との接触圧が過度に大きくなることを防止できる配線検査治具及び配線検査装置を提供する。【解決手段】プローブ2を検査対象の基板10に向かって一定以上の力で付勢する複数の第1付勢部311を保持した汎用の検査ヘッド部30と、複数のプローブ2の尖端を基板10の表面に案内する専用のプローブ案内部20を備える。撓みが生じ易いプローブ2(2A)と第1付勢部311との間には、第1付勢部311の強い付勢力をプローブ案内部20へ伝えつつプローブ2(2A)を第1付勢部311より弱い付勢力で付勢する中間導電部材230を設ける。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

導電性を有した複数の針状のプローブと、 検査用の電気信号を供給するポートにそれぞれ接続され、前記複数のプローブの一端が前記基板の表面を押すように前記複数のプローブの他端をそれぞれ付勢する、導電性を有した複数の第1付勢部と、 前記複数のプローブの前記一端を前記基板の表面に案内し、前記複数のプローブの前記他端を前記複数の第1付勢部に案内する案内部と、 前記プローブの前記他端の替わりに前記第1付勢部と接触し、当該第1付勢部の付勢力を当該プローブの替わりに前記案内部へ伝える少なくとも1つの導電部と、 前記導電部と前記プローブの前記他端との間に介在し、前記第1付勢部より弱い力で前記プローブの前記他端を付勢する、導電性を有した少なくとも1つの第2付勢部と、 を有し、 前記複数のプローブは、 前記第1付勢部によって付勢される少なくとも1つの第1プローブと、 前記第1プローブより撓み易く、前記第2付勢部によって付勢される少なくとも1つの第2プローブと、 を含む、 配線検査治具。

IPC (1件)：

G01R 1/067

FI (1件)：

G01R1/067 A

Fターム (7件)：

2G011AA10 ,  2G011AA15 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB07 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07