波長変化の測定

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-581071
特許番号：特許第5259036号
出願日： 2001年05月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】- 各々が独自の波長を有する1つあるいはそれ以上の信号を含む光ビーム(3)を受光し、かつ前記光ビーム(3)の少なくとも一部を通過させる入口選択手段(4)と、 - 前記入口選択手段(4)を通過する前記光ビーム(3)の前記少なくとも一部を受光し、かつ前記波長に応じた角度で前記信号の各々を回折させて回折信号を得るように構成された回折手段(6,7,9)と、 - 前記回折信号を受信し、かつ前記回折信号に応じて1つあるいはそれ以上の検出器出力信号を発生するように構成された検出器手段(8)と、 - 前記検出器手段に接続され、前記検出器出力信号を受信し、かつ前記信号の各波長と、検出器素子と、前記検出器素子上に投影された前記入口選択手段のイメージの波長と、を関係づける較正値と、を決定する、処理手段(21)と、を備えた光波長分析装置において、 - 矩形状の前記入口選択手段(4)は、空間均一強度分布を有する光ビームを出力するように構成され、 - 前記検出器手段(8)は、隣り合う第1の検出器素子(32;35;38)と第2の検出器素子(33;36;39)による対を少なくとも1つ有し、前記第1の検出器素子及び前記第2の検出器素子はそれぞれ複数の検出器デバイスを有しており、 - 前記回折手段(6,7,9)は、前記信号の各々を回折させるように構成され、それにより異なる検出器素子上において各回折信号は空間均一強度分布のイメージを有し、それにより各検出器素子はビームシフトの方向における前記各回折信号によって部分的にカバーされ、且つ、少なくとも1つの第1の検出器素子(32;35;38)における外部検出器素子と少なくとも1つの第2の検出器素子(33;36;39)における外部検出器素子とが前記各回折信号によってビームシフト方向に部分的に照射され、 - 前記第1の検出器素子は少なくとも第1信号部レベルの第1信号部を受信するものとして構成され、前記第1信号部レベルは前記空間均一強度分布に応じて波長シフトに比例しており、前記第1検出器デバイスの出力は前記第1信号部に関連しており、 - 前記第2の検出器素子(33;36;39)は少なくとも第2信号部レベルの第2信号部を受信するものとして構成され、前記第2信号部レベルは前記空間均一強度分布に応じて波長シフトに比例しており、前記第2検出器デバイスの出力は前記第2信号部に関連しており、ここにおいて、 - 前記処理手段(21)は、各前記対に対して、前記第1信号部レベルと前記第2信号部レベル及び計算値に基づいて、イメージ強度分布の重心計算により前記第1の信号部レベルおよび前記較正値に応じて受信された前記回折信号の波長を決定するように構成されている、ことを特徴とする光波長分析装置。

IPC (3件)：

G01J 3/02 ( 200 6.01) , G01J 3/18 ( 200 6.01) , G01J 3/36 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01J 3/02 C , G01J 3/18 , G01J 3/36

引用特許：

審査官引用 (7件)

光スペクトラムアナライザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-123172 出願人：株式会社アドバンテスト
特開平3-225232
レーザ光源の波長モニタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-053127 出願人：サンテック株式会社

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