特許
J-GLOBAL ID：201303073273210410
複合基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平木 祐輔
, 早川 康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033898
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235045
特許番号：特許第4736198号
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】回転速度が可変とされかつ平面性を高めた平坦面を表面に持つ定盤の上に第1の基板を密着させる工程、前記第1の基板の上に接着剤を滴下する工程、前記接着剤の上から前記第1の基板の上に第2の基板を載置する工程、前記定盤の回転により前記第1と第2の基板を回転させ遠心力の作用により第1と第2の基板の間から余分な接着剤を除去する工程、接着剤を硬化させる工程とを順次行う複合基板の製造方法において、
前記第1の基板上への接着剤を滴下を、少なくとも2本以上の線状体となるようにして行うことを特徴とする複合基板の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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