検出装置及び検出装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：速水進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062597
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195233
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：

【課題】薄膜方式の検出装置において、大型になることを抑制し、かつ検出感度を高くする。【解決手段】第1検出膜120は基板110上に形成されている。第2検出膜130は、第1検出膜120から離間しており、かつ第1検出膜120と対向して配置されている。第1検出膜120と第2検出膜130の間は中空になっている。第1支持部材140は、第2検出膜130を第1検出膜120から離間した状態で支持する。2つの導電部材150は、第1検出膜120及び第2検出膜130を並列に接続している。2つの導電部材150は、互いに離間している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成された第1検出膜と、前記第1検出膜から離間して配置され、前記第1検出膜に対向している第2検出膜と、前記第2検出膜を前記第1検出膜からに離間した状態で支持する第1支持部材と、前記第1検出膜及び前記第2検出膜を並列に接続する第1導電部材と、前記第1検出膜及び前記第2検出膜を並列に接続し、かつ前記第1導電部材から離れている第2導電部材と、を備える検出装置。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (3件)：

G01N27/12 B , G01N27/12 C , G01N27/12 M

Fターム (5件)：

2G046AA02 , 2G046BA01 , 2G046BA07 , 2G046BA09 , 2G046BB02

引用特許：

審査官引用 (3件)

ガス検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-112387 出願人：株式会社リコー
複合ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-116610 出願人：松下精工株式会社
物質検知センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-100090 出願人：日東電工株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

空隙のある多層薄膜を用いた水素センサの研究

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