特許
J-GLOBAL ID：201303074096237687

検出装置及び検出装置の製造方法

発明者：
原 和裕

原 和裕 について

, 
澤出 憲

澤出 憲 について


出願人/特許権者：
学校法人東京電機大学

学校法人東京電機大学 について


代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062597
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195233
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：
【課題】薄膜方式の検出装置において、大型になることを抑制し、かつ検出感度を高くする。【解決手段】第1検出膜120は基板110上に形成されている。第2検出膜130は、第1検出膜120から離間しており、かつ第1検出膜120と対向して配置されている。第1検出膜120と第2検出膜130の間は中空になっている。第1支持部材140は、第2検出膜130を第1検出膜120から離間した状態で支持する。2つの導電部材150は、第1検出膜120及び第2検出膜130を並列に接続している。2つの導電部材150は、互いに離間している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に形成された第1検出膜と、 前記第1検出膜から離間して配置され、前記第1検出膜に対向している第2検出膜と、 前記第2検出膜を前記第1検出膜からに離間した状態で支持する第1支持部材と、 前記第1検出膜及び前記第2検出膜を並列に接続する第1導電部材と、 前記第1検出膜及び前記第2検出膜を並列に接続し、かつ前記第1導電部材から離れている第2導電部材と、 を備える検出装置。
IPC (1件)：
G01N 27/12
FI (3件)：
G01N27/12 B ,  G01N27/12 C ,  G01N27/12 M
Fターム (5件)：
2G046AA02 ,  2G046BA01 ,  2G046BA07 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • ガス検知装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112387   出願人：株式会社リコー
  • 複合ガスセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-116610   出願人：松下精工株式会社
  • 物質検知センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-100090   出願人：日東電工株式会社
審査官引用 (3件)
  • ガス検知装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112387   出願人：株式会社リコー
  • 複合ガスセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-116610   出願人：松下精工株式会社
  • 物質検知センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-100090   出願人：日東電工株式会社
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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