特許
J-GLOBAL ID:201303074245572834
一軸アクチュエータ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-299343
公開番号(公開出願番号):特開2008-118776
特許番号:特許第4921116号
出願日: 2006年11月02日
公開日(公表日): 2008年05月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ベース部材と、このベース部材に固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、前記スライダに固定されるテーブルと、このテーブルの位置を検出する位置検出手段とを備えた一軸アクチュエータにおいて、
前記位置検出手段は、前記案内レールに沿って前記ベース部材に固定される磁気スケールと、この磁気スケールに対向する状態で、前記テーブル及びスライダからなる可動部分に固定される磁気センサとを備え、
前記磁気センサは、前記スライダのうち前記テーブルの組付け面に当接する位置決め面をもつセンサホルダに保持されており、前記位置決め面が前記組付け面に当接する状態で当該センサホルダが前記可動部分に固定されることにより、当該磁気センサと前記磁気スケールとが対向する方向において前記スライダに対して位置決めされた状態で前記可動部分に固定されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
IPC (2件):
H02K 41/02 ( 200 6.01)
, H02K 41/03 ( 200 6.01)
FI (2件):
H02K 41/02 Z
, H02K 41/03 A
引用特許:
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