走査顕微鏡で顕微プレパラートを検査するための装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田アキラ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183693
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048979
特許番号：特許第5046442号
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】走査顕微鏡で顕微プレパラートを検査するための装置であって、走査顕微鏡がレーザー(1)と照明ピンホール(6)と検出ピンホール(15)と対物レンズ(12)とを有し、対物レンズ(12)が、レーザー(1)によって生じた光を被検査対象物である試料(13)にフォーカシングさせ、レーザー(1)と対物レンズ(12)の間に、レーザー(1)によって生じた紫外線を伝送する光誘導要素(3)が設けられている前記装置において、光誘導要素が、紫外線による光誘導要素の損傷を防止するように、少なくとも2つの異なる光学密度を有している多数の微小光学構造要素から構成されていることを特徴とする装置。

IPC (2件)：