特許

J-GLOBAL ID：201303075779634629

ジブロックコポリマーブレンド組成物

発明者： ラーフル・シャルマ ,  ベイリー・ギンズバーグ ,  フィリップ・フスタッド ,  ジェフリー・ウェインホールド
出願人/特許権者： ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-020122
公開番号（公開出願番号）：特開2013-166933
出願日： 2013年02月05日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】マイクロ電子デバイスにおいて基体へ所望のパターン転写を容易にするのに必要な耐エッチング性を有する自己組織化材料の提供。【解決手段】秩序化ポリ(スチレン)-b-ポリ(メタクリル酸メチル)ジブロックコポリマーおよび非秩序化ポリ(スチレン)-b-ポリ(メタクリル酸メチル)ジブロックコポリマーの独特の組み合わせを含むジブロックコポリマーブレンド、およびこのジブロックコポリマーブレンドで処理された基体。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

0.65〜0.87のポリスチレン容積分率VfBCP1-PSを有し、および下記式

IPC (5件)：

C08F 297/02 ,  C08L 53/00 ,  C08K 5/00 ,  C08J 9/26 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

C08F297/02 ,  C08L53/00 ,  C08K5/00 ,  C08J9/26 102 ,  C08J9/26 ,  H01L21/312 A

Fターム (39件)：

4F074AA13B ,  4F074AA23B ,  4F074AA98B ,  4F074AB01 ,  4F074CB04 ,  4F074CB17 ,  4F074CB22 ,  4F074CC04Y ,  4F074DA12 ,  4F074DA14 ,  4F074DA47 ,  4J002BP031 ,  4J002EA016 ,  4J002EA056 ,  4J002ED056 ,  4J002EE036 ,  4J002EH026 ,  4J002EH156 ,  4J002EL066 ,  4J002EU026 ,  4J002FD206 ,  4J002HA05 ,  4J026HA06 ,  4J026HA26 ,  4J026HA32 ,  4J026HA39 ,  4J026HB11 ,  4J026HB26 ,  4J026HB32 ,  4J026HB39 ,  4J026HB44 ,  4J026HB45 ,  4J026HE01 ,  5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG09 ,  5F058AG10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 高分子膜及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-172351   出願人：宇部興産株式会社