特許
J-GLOBAL ID:201303076189320340
圧力センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-113690
公開番号(公開出願番号):特開2013-242157
出願日: 2012年05月17日
公開日(公表日): 2013年12月05日
要約:
【課題】ダイアフラムをケースに全周溶接する形式の圧力センサにおいて、高温環境下でのセンサ精度を向上させる。【解決手段】ダイアフラム16には、ハウジング11との溶接部18よりも内周側で且つ測定媒体室14に対向する部位よりも外周側の位置に、断面が湾曲形状の第2コルゲート24を設け、ハウジング11には、第2コルゲート24を収容するコルゲート収容溝25を設ける。これによると、ダイヤフラム16とハウジング11の溶接後の温度低下時における溶接熱による収縮量差は、主に第2コルゲート24の変形により吸収されるため、溶接後の温度が低下した状態では、ダイヤフラム16における測定媒体室14に対向する部位に設けた第1コルゲート23の容易に変形可能な領域が広くなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
オイル(19)が充填される圧力検出室(2)を形成する第1ケース(1)と、
測定媒体が流入する測定媒体室(14)を形成する第2ケース(11)と、
外縁部が前記第2ケースに全周溶接されるとともに前記第1ケースと前記第2ケースとによって挟持されて、前記圧力検出室と前記測定媒体室とを仕切る円板状のダイアフラム(16)と、
前記オイルの圧力を受けてその圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサ素子(4)とを備え、
前記ダイアフラムは、前記測定媒体室に対向する部位に形成された断面が湾曲形状の第1コルゲート(23)を備える圧力センサにおいて、
前記ダイアフラムは、前記第2ケースとの溶接部(18)よりも内周側で且つ前記測定媒体室に対向する部位よりも外周側の位置に形成された断面が湾曲形状の第2コルゲート(24)を備え、
前記第2ケースは、前記第2コルゲートが収容されるコルゲート収容溝(25)を備えることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
2F055AA25
, 2F055AA29
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE11
, 2F055FF01
, 2F055GG12
, 2F055GG22
, 2F055GG25
, 2F055HH08
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