特許
J-GLOBAL ID：201303076833619785
温度センサ付きウエハ、その製造方法、及び温度センサの素線の固定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
清流国際特許業務法人
, 昼間 孝良
, 小川 信一
, 野口 賢照
, 佐藤 謙二
, 平井 功
, 境澤 正夫
, 斎下 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-035883
公開番号（公開出願番号）：特開2013-172050
出願日： 2012年02月22日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：
【課題】熱電対の素線を被覆材に被覆したままウエハの表面に固定する温度センサ付きウエハ、その製造方法、及び温度センサの素線の固定方法を提供する。【解決手段】ウエハ2の表面に配設された熱電対3の測温部4から導出される被固定線材6と7を、素線6aと7aを被覆材6bと7bで被覆したままウエハ2の表面に固定する固定部材を、素線を被覆材で被覆した固定用線材11で形成すると共に、固定用線材11の両端部12の被覆材を剥がして、むき出しにした素線を接着剤13でそれぞれ固着して構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウエハの表面に配設された温度センサの測温部から導出される被固定線材を、素線を被覆材で被覆したままウエハの表面に固定する温度センサ付きウエハにおいて、
前記被固定線材をウエハの表面に固定する固定部材を備え、前記固定部材を、素線を被覆材で被覆した線材で形成することを特徴とする温度センサ付きウエハ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F056CL01
, 2F056CL12
, 4M106AA01
, 4M106CA31
, 4M106DJ32
