特許

J-GLOBAL ID：201303077402539454

滑り軸受要素を製造する方法

発明者： バルター ゲルトナー
出願人/特許権者： ミーバ グライトラガー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  島田 哲郎 ,  三橋 真二 ,  三橋 庸良 ,  森本 有一 ,  篠田 拓也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-537260
公開番号（公開出願番号）：特表2013-509500
出願日： 2010年11月05日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：

本発明は、ガス雰囲気中におけるカソードスパッタリングにより、且つ、少なくとも1つの金属ターゲット(16)を使用することにより、摩擦的に有効な摺動層(6)を有する基材の表面(5)を被覆することによって滑り軸受要素(1)を製造する方法であって、円筒形空洞(3)を有する基材が使用され、且つ、ターゲット(16)は、空洞(3)内に少なくとも部分的に配置され、且つ、更には、ターゲット(16)をスパッタリングするための放電は、第3電極(26)によって支持又は維持される方法に関する。

請求項（抜粋）：

ガス雰囲気中におけるカソードスパッタリングにより、且つ、少なくとも1つの金属ターゲット(16)を使用することにより、摩擦的に有効な摺動層(6)が配設された基材の表面(5)を被覆することによって滑り軸受要素(1)を製造する方法であって、 円筒形空洞(3)を有する基材が使用され、且つ、ターゲット(16)は、空洞(3)内に少なくとも部分的に配置され、且つ、更には、ターゲット(16)をスパッタリングするための放電は、第3電極(26)によって支持又は維持されることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/02

FI (4件)：

C23C14/34 T ,  C23C14/14 D ,  C23C14/34 B ,  C23C14/02 Z

Fターム (15件)：

4K029AA02 ,  4K029AA27 ,  4K029BA21 ,  4K029BA23 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA05 ,  4K029CA13 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4K029DC13 ,  4K029DC31 ,  4K029DC34 ,  4K029EA09 ,  4K029FA05